LCD/OLED中大尺寸玻璃基板光刻胶超声喷涂:研发与小批量工艺LCD/OLED中大尺寸玻璃基板光刻胶超声喷涂:研发与小批量工艺 LCD/OLED相关中大尺寸玻璃基板、彩膜及黑矩阵研发试样的光刻胶涂布,核心并不是把液体覆盖到基板表面,而是在材料化学性质、沉积动力学、溶剂挥发和后续光刻步骤之间建立稳定的工艺窗口。超声喷涂通过超声振动使供液形成细小液滴,再由载气与运动平台控制液滴到达基板。相较于依赖高速离心铺展的旋涂,这种方式适合研究大面积矩形基板、局部区域涂布以及传统涂布设备不易覆盖的几何形态;但它并不天然保证每种胶液都能得到目标膜厚或缺陷水平。 一、材料与基板边界条件 [...]
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