超声波喷涂光刻胶的优点
将超声波喷涂技术引入光致抗蚀剂涂布机具有几个优点：
- 均匀涂层：超声波喷涂会产生细雾状的光致抗蚀剂，确保均匀覆盖复杂的基材，减少与不均匀应用相关的缺陷。
- 材料效率：该技术通过优化光致抗蚀剂的用量来最大限度地减少浪费，因为它可以精确控制液滴的大小和分布。
- 多功能性：超声波喷涂可以适应各种光致抗蚀剂配方，使工艺开发和应用具有灵活性。
- 缩短干燥时间：细雾蒸发得更快，可能会加快整个涂层过程并提高产量。
- 增强分辨率：改进对液滴尺寸的控制可以实现更精细的图案和细节，这对高分辨率光刻应用至关重要。
- 降低运营成本：减少材料浪费和加快加工速度的结合可以节省制造成本。
总体而言，将超声波喷涂集成到光致抗蚀剂涂层工艺中可以提高精度、效率和灵活性，满足现代半导体制造的需求。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
