用于MEMs产品的光致抗蚀剂喷涂机
用于MEMs产品的光致抗蚀剂喷涂机 已成为微细加工领域的游戏规则改变者。它采用了超声波喷涂技术，这是一种革命性的新型光致抗蚀剂沉积技术。
与传统的涂层方法不同，超声波喷涂利用了超声波振动的力量。这些振动将光致抗蚀剂溶液破碎成极细的液滴，确保在MEMS基板上高度均匀的沉积。在MEMS制造中，精度至关重要，因为这些微型器件通常具有复杂的几何形状，需要对层厚度和质量进行精确控制。例如，在微传感器或致动器的生产中，通过超声波喷涂实现的光致抗蚀剂的均匀分布可以提高器件的灵敏度和整体性能。
此外，该技术提供了增强的再现性，允许一致的生产运行。它还可以减少材料浪费，因为可以精确地定位细小的液滴，使其成为制造高质量MEMS产品的环保且经济高效的选择。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
