光致抗蚀剂涂层技术
通过利用超声波雾化技术，负载有足够量溶剂的光致抗蚀剂被破碎并转化为微小的液滴，通常在微米级。然后，这些雾化的喷雾开始朝向基材的旅程。当它们到达目标时，数以百万计的这些液滴聚结并积聚，逐渐形成生长的抗蚀剂膜。为了确保抗蚀剂膜的厚度均匀，通常在分配喷雾的喷嘴和基板之间实现同步的横向移动。这种动态相互作用使液滴的分布更加均匀，补偿了任何潜在的不规则性。
优势：
- 喷涂方法具有显著的通用性，因为它可以有效地应用于任何可能尺寸和形状的基材。无论是小型微芯片组件还是大型工业面板，喷涂都可以适应。
- 即使是复杂的三维物体，只要它们被适当地定位和安装，也可以无缝地涂覆抗蚀剂。这为航空航天和生物医学工程等领域的先进制造开辟了新的可能性，在这些领域，复杂的几何形状司空见惯。
- 具有突出拓扑特征的基材，如具有凹槽、脊或曲率的基材，不会对喷涂造成重大障碍。在精心优化的条件下，可以实现出色的边缘覆盖，保护涂层表面的完整性和功能性。
- 理论上，与旋涂相比，抗蚀剂的利用效率更高。这意味着在涂覆过程中浪费的抗蚀剂材料更少，从而节省了成本并加强了资源管理。这是一个显著的优势，尤其是在处理昂贵或稀缺的光致抗蚀剂配方时。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
