超声波喷雾热解涂层装置

超声波喷雾热解是一种简单的气溶胶合成技术，广泛用于合成纳米材料，如薄膜或纳米颗粒。由于其易于实现的可行性，灵活性和成本效益，超声波喷雾热解法是化学气相沉积（CVD）的重要替代方法。超声喷雾热解的前体通常通过溶胶 – 凝胶途径制备。通过改变加工参数，可以容易地改变合成的纳米颗粒或膜的组成。

超声波喷雾热解使您可以完全控制重要的工艺参数，例如：
– 超声波振幅
– 前体解决方案
– 前体组成/粘度
– 流量
– 沉积温度
– 基板温度