超声喷雾热解ZnO薄膜

超声喷雾热解ZnO薄膜。超声喷雾热解是这样一种方法，其中通过用超声雾化器将溶液喷雾到加热表面上来沉积纳米结构，其中组分反应形成所需的化合物。与常规方法相比，超声喷雾热解法提供了诸如设备成本低，在大面积上具有良好的厚度均匀性，低温和加工中的低真空要求等优点。已经报道了通过使用超声喷雾热解在Si衬底上生长的ZnO薄膜，以及通过使用Au催化剂的超声喷雾化学气相沉积来生长ZnO纳米棒。