沸石薄膜喷涂

沸石薄膜喷涂。超声波喷嘴喷涂沉积高通量制备沸石薄膜

具有有序的纳米孔和低介电常数的沸石薄膜可以用作微电子器件中的绝缘层。在此，我们报告了一种可扩展的方法，即超声波喷嘴喷涂沉积，它解决了这个问题。由超声喷嘴引入的高频驻波产生数十至数百微米尺度的均匀尺寸的流延悬浮液液滴，这在除去溶剂后产生均匀的薄膜。我们专注于在硅晶片基板上沉积包含纯硅沸石MFI的薄膜。我们系统地研究了沸石薄膜的质量如何受浇铸悬浮液的成分和UAM4000L操作参数的影响。