超声波半导体光刻胶喷涂机

驰飞致力于解决客户各种超声波喷涂方案，超声波喷涂运用于半导体光刻胶喷涂，较传统的旋涂、浸涂处理方式。具有均匀度高、涂层区域可控等优势。事实证明，超声波喷涂处理的光刻胶表面涂覆，其制备出的光刻胶涂层在微结构的均匀性和均一性方面都高于传统的旋涂工艺。超声波喷涂是一种显著高效且经济的光刻胶涂层处理方式。驰飞的喷涂系统具有精确、控制流量、精准控制速度等特点。极低的载气量在喷涂过程中轻柔、无冲击，极大的避免了液体的过喷问题，大大提高了液体的利用率。