超声雾化热解喷涂

超声雾化热解喷涂（Ultrasonic Spray Pyrolysis，USP）是一种重要的薄膜材料制备方法。这种方法的基本过程是：利用超声波空化作用把特定成分和浓度的前驱体溶液雾化为粒径微米量级的小液滴(通常超声波工作频率在MHz量级)，在一定流速载气输运下前驱体气溶胶到达加热的衬底表面附近，胶体粒子发生热分解后固态生成物沉积到衬底材料表面形成薄膜。

超声雾化热解喷涂薄膜制备系统用于制备单元和多元氧化物、硫化物、氯化物薄膜材料，典型的薄膜材料如ZnO、TiO2、NiO、Al2O3、CdS、SnO2、ITO等等。