光刻胶超声波喷涂机

UAM6000超声波喷涂机适用于大批量生产和连续喷涂，喷涂的最大基材尺寸为500*500mm。

Cheersonic 的超声波涂层是一种独特的、环保的、低速喷涂技术，可形成微厚度、非常均匀的保护性和功能性薄膜，不会堵塞和过度喷涂。

适用案例，如，

1：基材：Si、Glass、Ceramics（平面，可结构化）
2：基板尺寸：400mm x 400mm
3：厚度范围：0,3 mm – 1,5mm
4：工艺：涂增粘剂+烘烤，涂光刻胶+烘烤。

应用增粘剂：
粘度：0,4 cPs
溶剂型
非常润湿的材料
层厚：尽可能薄（<<50nm）

光刻胶：
粘度范围：2 cPs – 200 cps（取决于层厚和 PR）
大多数光刻胶材料都不含溶剂
目标层厚度：<1- 40um
目标层均匀性：
<1- 1 um: 偏差 1 um (±30%)
~ 10 um：偏差 ±2 um (±20%)
~ 20 um：偏差 ±2 um (±15%)
5：烘烤温度范围：室温至120℃。
6：基材上无液滴
7：洁净室环境。

杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。杭州驰飞超声波设备有限公司全新网站已经上线，驰飞超声提供专业的镀膜解决方案，为您出谋划策，提供定制化服务，加速您的产品研发生产！