贴合式兆声清洗系统

贴合式兆声清洗系统兆声波清洗技术不仅保存了超声波清洗技术的各项优点，而且还克服了它的一些不足兆声波清洗技术的机理是由化学清洗剂的化学反应并结合高频振效应对硅片进行清洗。

贴合式兆声清洗系统

我们专业提供满足新兴尖端产业需求的定制化解决方案，例如纳米技术、燃料电池、半导体、医疗涂层、喷雾热解等等。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。

贴合式兆声清洗系统兆声波清洗技术不仅保存了超声波清洗技术的各项优点，而且还克服了它的一些不足兆声波清洗技术的机理是由化学清洗剂的化学反应并结合高频振效应对硅片进行清洗。至今兆声波清洗方法已成为抛光片清洗中应用最广泛有效的一种方法。

典型应用

• CMP化学机械抛光
• 键合前清洗
• 掩膜清洗
• 显影
• Lift-off金属剥离
• 湿法刻蚀
• 镜头清洗
• 显示屏等微电子行业精密清洗

基本参数

• 兆声频率 1MHz
• 功率密度 <2W/cm2
• 外壳材质 PEEK
• 振子材质石英或蓝宝石
• 冷却气流量 10L/min
• 液体流量 0.5-3.0 L/min
• 适用晶圆 4寸、6寸、8寸、12寸
• 液体温度 <70°C
• 环境温度 10-40°C

我们的服务

驰飞提供创新和定制的解决方案，以满足您的需求。将我们的专业知识与您的专业知识相结合加速您的生产和研发

机器人解决方案

驰飞的专家团队积累了丰富的技术经验，已经通过提供定制化的机器人解决方案成功帮助多个领域的客户降低成本增加效益。

提供定制服务

驰飞以创新的技术、卓越的解决方案和产品坚持不懈地对客户的发展提供全面支持，定制服务满足各种需求，帮助客户实现持续增长。

研发团队

驰飞研发团队在多个方面对企业的成功做出了突出贡献，如引领科技的研究和发展方向、建立与顶尖大学和企业的合作。