在MEMS上涂光刻胶

新的UAM6000超声波涂层系统非常适合在MEMS上涂布光致抗蚀剂，此外该设备还适合在凹凸和异形基地上涂布均匀涂层，例如TCO层，CNT，聚合物，AR，CIGS等。

自动化的超声波XYZ涂层系统设计用于精密电子制造或研发。 UAM6000超声波镀膜系统是一种经济的系统，可镀膜厚度从50nm到100 um。该系统专为需要高精度、控制和均匀性的精确喷涂工艺而设计，该系统可制备均匀且可重复的薄膜。此外，该系统还具有用户友好的触摸屏控制系统。

可编程的XYZ运动系统可提供14×14英寸的喷雾区域，并根据喷嘴频率（30-120kHz）控制液滴大小。集成的超声波喷嘴可减少80％的材料消耗，无堵塞性能以及精确的目标喷雾根据流速，可以使用几种液体输送方式，根据涂料的要求，可以使用几种喷雾成形方式。

杭州驰飞的超声镀膜系统可以轻松扩展到更高产量的设备。有关UAM6000超声波涂层系统的更多信息，请访问 https://www.cheersonic-liquid.cn/zh/ 。