光敏聚酰亚胺的攻克难点

PSPI光刻胶的生产处于产业链结构的中游,是电子和微电子领域的理想绝缘材料,是显示面板、LED封装、半导体等光电子和微电子领域中最重要的电子化学品材料之一,被作为层间绝缘、表面钝化、应力缓冲、射线屏蔽等材料而广泛应用。

光敏聚酰亚胺的攻克难点

1、材料的基础性能难点
PI材料一般需要在350度以上的高温条件才能够完全固化,但在实际的晶圆应用制程中,随着芯片面积增大和晶圆厚度减薄,低固化温度需求强劲。如何获得能够在250度以下固化且依然具备性能良好的PSPI材料,难度极大。

2、材料的工程应用难点
PSPI既是光刻工艺制程材料,亦是芯片封装结构材料,完成制程后最终留存于风中器件中。要保证其在手机芯片以及车机芯片上数十年的稳定性,就对材料的可靠性,纯度、以及各种方面提出了苛刻的要求。

3、材料应用的检测周期壁垒
PSPI作为前道IC、后道先进封装、微机电MEMS及有机发光二极管(OLED)显示等领域应用领域的直接材料,会永久性地保留在芯片、器件内部,导致产品验证周期整体偏长,少则6个月,多则2~3年。同时还需要通过多项可靠性测试。测试周期长,意味着供应商进入到下游客户供应链系统需要较长时间成本,这为先进入企业建立了一定的先发护城河。

UEC6000S 超声波光刻胶涂覆设备

平板显示器电路的制作、等离子显示器障壁的制作、液晶显示器彩色滤光片的制作均需采光光刻技术,均需使用不同类型的光刻胶。落地型的超声波喷涂设备可以应用于各种纳米及亚微米级功能性涂层薄膜的研发及生产,如:光刻胶、聚酰亚胺、导电涂层等。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆,相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺,其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案,超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量,极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。

  • 适用于研发及小批量生产
  • 落地型设备
  • 原料利用率可达95%
  • 涂层均一且稳定,均匀度±5%
  • 有效喷涂面积:500mmX 500mm

关于驰飞

驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的,可大幅减少过量喷涂,节省原材料,并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持,保证客户涂层稳定量产;针对特殊器械涂层需求,提供涂层定制研发服务;提供各类涂层代工服务。

杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商,产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。

英文网站:CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION