通常使用超声喷雾热解技术形成均匀的薄膜氧化铟锡（ITO）、掺杂铝的氧化锌（AZO）、氧化锌（ZnO）和掺杂氟的氧化物层。这种独特的工艺需要专业的涂层设备来创造必要的涂层厚度和形态，在高温环境中喷涂腐蚀性溶液。

在高温超声喷雾热解过程中，将诸如铝锌氧化物的前体溶液喷射到加热到大约300-500摄氏度的基底上。溶剂在运输过程中蒸发，ZnO晶体膜生长在基板表面，通常是钠钙或其他玻璃上。衬底温度通常决定薄膜的形态特征。

超声波喷涂湿法沉积为制造商提供了一种替代真空沉积和溅射的经济高效的方法，具有更高的转移效率。超声波雾化喷嘴产生的液滴尺寸高度均匀，可以实现最佳尺寸的液滴以进行热解反应，并且在沉积过程中，所有液滴将以相同的方式同时反应。这就产生了一个高效的TCO生产过程，无论是在研发还是大批量生产中。