UEC6000XL (抽屉式) 超声波大面积光刻胶涂覆设备
我们专业提供满足新兴尖端产业需求的定制化解决方案，例如纳米技术、燃料电池、半导体涂层、医疗涂层、喷雾热解等等。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
一种配置有2个固定超声波喷嘴或一个往复式基板的输送系统，用于大规模生产。UEC6000XL (抽屉式) 超声波大面积光刻胶涂覆设备 是一种生产规模的涂层系统，具有在玻璃基板上进行涂层涂覆的能力，涂覆面积可达1280*710mm（涂覆面积可定制）基板采用类似抽屉的模式进行出料和送料，既节省了空间又利于大面积基材的上下料。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案，超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量，极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。
- 适用于大批量生产
- 大面积、全自动、可编程的独立系统
- 原料利用率可达95%
- 涂层均一且稳定，均匀度±5%
- 有效喷涂面积:1280mmX 710mm
特征与参数
特征
• 轻柔，低速的喷雾，避免过量喷涂
• 减少80%的涂料消耗量
• 减少空气污染
• 喷头自清式设计不易堵塞
• 大大减少设备的停机维护时间
• 超低流量的连续或间断式精确喷涂
• 抗腐蚀的不锈钢和钛材料结构
基本参数
• 尺寸：2000(L)*1490(W)*1850(H)mm
• 超声波系统*：配备2个宽幅型喷头
*颗粒平均粒径：38um
*喷涂幅宽：10- 80mm
*喷涂膜厚：10nm-100um
*喷涂流量范围：0.5- 50m/min
• 电源输入：220V AC 50/60HZ
电话：0571-87910406
- 手机：13372540303
微信：13372540303
- QQ： 964840129
中国客户咨询邮件：market2@cheersonic.com
- 海外客户咨询邮件：market3@cheersonic.com
地址：浙江省杭州市富阳区场口镇创业路11-13号
