光刻胶涂覆如何保持均匀度
光刻胶涂覆如何保持均匀度 – 光刻胶超声喷涂系统 – 驰飞超声波喷涂
超声波喷涂系统已被证明适用于需要均匀、可重复涂覆光致抗蚀剂或聚酰亚胺膜的各种应用。
基于以下应用，
a、 基板：平面、方形或矩形；厚度：1/4英寸，
b、 基材尺寸：宽度/长度：通常为24”，30-32“；
c、 液体：光致抗蚀剂
d、 工作要求：每天涂5-10层
我推荐超声波喷涂机UAM6000，配置如下。
1.运动系统：X-Y-Z轴上的协调运动
2.控制系统：10英寸触摸屏，具有用户友好界面研发嵌入式系统，3个用户登录级别–操作员、主管和工程师
3.货物系统：1块定制加热板，尺寸和形状与基板相同，以避免过量液体渗透到基板背面。
4.超声波喷雾系统：2套120kHz超声波喷雾系统，带宽型喷嘴（喷雾宽度10-60mm）。
5、供液系统：精密注射泵2台，玻璃注射器2台。
6.排气系统和照明系统。
我们为高标准测试实验升级了洁净室。欢迎您发送样品材料以供免费测试。
