用于半导体制造的超声波喷涂系统
用于半导体制造的超声波喷涂系统 – 光刻胶喷涂 – 驰飞超声波喷涂
基于以下应用，
1.基板：几何结构
2.液体：光刻胶
3.薄膜厚度：1µm或1.5µm
超声波喷涂机可以很好地喷涂平面基材。几何结构不影响喷涂效果。超声波涂布机UAM6000L是研发和生产的理想选择，喷涂面积为650*650mm。光致抗蚀剂的厚度可以达到几百纳米到几十微米。
驰飞超声波专注于超声波涂层技术20多年。驰飞超声波提供一系列超声波薄膜涂布机，从实验室研发的台式、独立的超声波涂布机到电子工业的工业规模的在线连续涂布机。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
