为什么硅晶片都是圆形的 ?
从晶圆的利用效率来说,设计成方形是利用效率最高的。而把晶圆是圆形的原因归于从硅锭只能生产成圆形的话,是有点倒果为因了。硅锭也可以先切削成方柱状,这样不仅硅锭的剩料可以方便回收,晶圆切片后利用效率也是最高的。
硅晶片为什么是圆形,官方解释是:
1、硅锭可以先切削为方形,然后再切片;
2、方形晶圆是存在的,三寸和四寸晶圆就有设计成方形,常用于实验室;
3、晶圆制造过程中存在大量SOG旋转制程,从离心力角度,只有圆形才能达到受力均匀的目的。
超声波喷涂是光刻晶圆加工中光刻胶涂层的一种简单、经济且可重复的工艺。 超声波涂层系统使用先进的分层技术可以精细控制流速、涂层速度和沉积量。 低速喷雾成形将雾化喷雾定义为精确、可控的图案,避免过度喷雾,同时产生非常薄、均匀的层。使用超声波技术的直接喷涂被证明是将光刻胶沉积到3D微结构上的可靠且有效的方法,从而减少了因金属过度暴露于蚀刻剂而导致的设备故障。
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